Effects of Mg doping content and annealing temperature on the structural properties of Zn_（1-x）Mg_xO thin films prepared by radio-frequency magnetron sputtering

The doping content of Mg plays an important role in the crystalline structure and morphology properties of Zn（1-x ）MgxO thin films. Here,using radio-frequency magnetron sputtering method,we prepared Zn（1-x ）MgxO thin films on single crystalline Si（100） substrates with a series of x values. By means...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	光电子快报：英文版 2017, Vol.13 (1), p.42-44
1. Verfasser:	杜文汉 杨景景 赵宇 熊超
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!