气相锌还原四氯化硅后硅沉积SiCl2的热力学行为

The modified Siemens process,which is the major process of producing polycrystalline silicon through current technologies,is a high temperature,slow,semi-batch process and the product is expensive primarily due to the large energy consumption.Therefore,the zinc reduction process,which can produce so...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	中国化学工程学报：英文版 2015, Vol.23 (3), p.552-558
1. Verfasser:	Yanqing Hou Zhifeng Nie Gang Xie Rongxing Li Xiaohua Yu Plant A. Ramachandran
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	SiCl4 ZnCl2 四氯化硅 大气压力 气相还原 热力学行为 还原法 锌
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