Sub-micrometer-thick ,and low-loss Ge20Sb5Se65 rib waveguides for nonlinear optical devices

We report the fabrication and optical properties of sub-micrometer-thick Ge20Sb15Se65 chalcogenide rib waveguides. The radio-frequency （R.F） magnetron sputtering method is used to deposit 0.83 lain-thick films. A protective layer of SU-8 is employed to prevent the attack of the alkaline developer, a...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	光电子快报：英文版 2015 (3), p.203-206
1. Verfasser:	李军 陈芬 沈祥 戴世勋 徐铁峰 聂秋华
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	亚微米 低损耗 光学性质 反应离子蚀刻 波导 磁控溅射法 肋 非线性光学器件
Online-Zugang:	Volltext
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