Effect of Argon Addition on Morphology and Structure of Diamond Films （from Microcrystalline to Nanocrystalline）

Micro-/nanocrystalline diamond films deposited in Ar/H2/CH4 microwave plasmas have been studied, with argon flow rates in the range of 70-100 sccm. The effects of argon addition on morphology, surface roughness, quality and structure were investigated by scanning electron microscopy, surface profile...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	等离子体科学与技术：英文版 2015 (3), p.216-220
1. Verfasser:	吕琳 汪建华 翁俊 崔晓慧 张莹
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	多晶金刚石薄膜 形态 微波等离子体 扫描电子显微镜 氩含量 纳米金刚石薄膜 结构 表面粗糙度
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