In-Situ Nitrogen Doping of the TiO2 Photocatalyst Deposited by PEALD for Visible Light Activity

In this paper, an N-doped titanium oxide （TiO2） photocatalyst is deposited by a plasma-enhanced atomic layer deposition （PEALD） system through the in-situ doping method. X-ray photoelectron spectroscopy （XPS） analysis indicates that substitutional nitrogen atoms （-395.9 eV） with 1 atom% are effectiv...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	等离子体科学与技术：英文版 2014 (3), p.239-243
1. Verfasser:	饶志鹏 万军 李超波 陈波 刘键 黄成强 夏洋
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	TiO2光催化剂 TiO2薄膜 XPS分析 X射线光电子能谱 光催化活性 原位掺杂 原子层沉积 氮掺杂
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