Surface saturation control on the formation of wurtzite polytypes in zinc blende SiC nanofilms grown on Si-（100） substrates

We investigate the formations of wurtzite （WZ） SiC nano polytypes in zinc blende （ZB） SiC nanofilms hetero-grown on Si-（100） substrates via low pressure chemical vapor deposition （LPCVD） by adjusting the Si/C ratio of the introduced precursors. Through SEM, TEM, and Raman characterizations, we find...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	中国物理B：英文版 2013 (8), p.542-546
1. Verfasser:	刘兴昉 孙国胜 刘斌 闫果果 关敏 张杨 张峰 董林 郑柳 刘胜北 田丽欣 王雷 赵万顺 曾一平
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Si（100） 多型体 控制 碳化硅 纤锌矿 纳米薄膜 薄膜表面 饱和度
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!