Determination of Electron Swarm Parameters in Pure CHF3 and CF4 by a Time-Resolved Method

The density-normalized effective ionization coefficient （α - η）/N （α and η are the ionization and attachment coefficients respectively）, the electron drift velocity Ve and density- normalized longitudinal diffusion coefficient NDL in trifluoromethane （CHF3） and carbon tetraflu- oride （CF4） were meas...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	等离子体科学和技术：英文版 2013 (1), p.25-29
1. Verfasser:	肖登明 邓云坤
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	CF4 CHF3 分辨方法 子群 时间 测定 纵向扩散系数 附着系数
Online-Zugang:	Volltext
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