The light-enhanced NO2 sensing properties of porous silicon gas sensors at room temperature

The NO2 gas sensing behavior of porous silicon（PS） is studied at room temperature with and without ultraviolet（UV） light radiation.The PS layer is fabricated by electrochemical etching in an HF-based solution on a p ＋-type silicon substrate.Then,Pt electrodes are deposited on the surface of the PS t...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	中国物理B：英文版 2012-05, Vol.21 (5), p.657-661
1. Verfasser:	陈慧卿 胡明 曾晶 王巍丹
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	二氧化氮气体 传感特性 响应灵敏度 多孔硅 室温 气体传感器 电化学蚀刻 紫外线
Online-Zugang:	Volltext
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