STUDY OF HYDROGEN IN ANNEALED AMORPHOUS SILICON AND IMPLANTED AMORPHOUS CARBON

Hydrogen contents and its depth profiles, obtained by nuclear reaction induced by fluorine ion, have been investigated for a series of thermal annealed amorphous silicon and implanted amorphous carbon (diamond-like carbon) films. For dual layer amorphous silicon films, it is shown that hydrogen of e...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	核技术：英文版 1990 (Z1), p.117-120
1. Verfasser:	汪永强 郑志豪 姜汴婴
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	amorphous Annealed carbon Implanted silion
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!