Study on AlxNiy Alloys as Diffusion Barriers in Flexible Thin Film Solar Cells

Co-sputtered AlxNiy thin films were used as diffusion barriers between aluminum and hydrogenated microcrystalline silicon （μc-Si：H） for flexible thin film solar cells. The stoichiometric ratio of AlxNiy showed a significant effect on the structures of the films. The obtained Al3Ni2 film was amorphou...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Plasma science & technology 2011-10, Vol.13 (5), p.600-603
1. Verfasser:	岳红云 吴爱民 秦福文 李廷举
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	合金相 多晶薄膜 弥散 微晶硅 探针系统 柔性 深度剖面 薄膜太阳能电池
Online-Zugang:	Volltext
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