硼原子对Si（100）衬底上Ge量子点生长的影响

研究了硼原子对Ｓｉ（１００）衬底上Ｇｅ量子点自组织生长的影响，硼原子的数量由０单原子层变到０．３单原子层。原子力显微镜的观察表明，硼原子不仅对量子点的大小，而且对其尺寸均匀性及密度都有很大影响。