Analysis of Modified Williamson-Hall Plots on GaN Layers

Williamson Hall （W-H） analysis is often used to separate the lateral coherence length （LCL） broadening and dislocation broadening＂ on the ω-sean with a Lorentzian distribution. However, besides the LCL broadening and dislocation broadening, curvature also can broaden the w-scan peak. Usually, the w-...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chinese physics letters 2011, Vol.28 (1), p.145-148
Hauptverfasser:	Liu, Jian-Qi (建奇 刘), Qiu, Yong-Xin (永鑫 邱), Wang, Jian-Feng (建峰 王), Xu, Ke (科徐), Yang, Hui (辉杨)
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	大曲率 扫描图 洛伦兹 相干长度 马赛克
Online-Zugang:	Volltext
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