The electrical, optical properties of AlSb polycrystalline thin films deposited by magnetron co-sputtering without annealing

In order to fabricate A1Sb polycrystalline thin films without post annealing, this paper studies a technology of magnetron co-sputtering onto intentionally heated substrate. It compares the structural characteristics and electrical properties of A1Sb films which are deposited at different substrate...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chinese physics B 2010-12, Vol.19 (12), p.456-459
1. Verfasser:	黄征 武莉莉 黎兵 郝霞 贺剑雄 冯良桓 李卫 张静全 蔡亚平
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	AlSb 光学特性 基板温度 多晶薄膜 平均晶粒尺寸 磁控共溅射
Online-Zugang:	Volltext
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