Development of TiN/AlN-based superconducting qubit components

This paper presents the fabrication and characterization of superconducting qubit components from titanium nitride (TiN) and aluminum nitride (AlN) layers to create Josephson junctions and superconducting resonators in an all-nitride architecture. Our methodology comprises a complete process flow fo...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Schoof, Benedikt, Singer, Moritz, Lang, Simon, Gupta, Harsh, Zahn, Daniela, Weber, Johannes, Tornow, Marc
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics - Applied Physics Physics - Materials Science Physics - Quantum Physics
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