In-Line-Test of Variability and Bit-Error-Rate of HfOx-Based Resistive Memory
Spatial and temporal variability of HfOx-based resistive random access memory (RRAM) are investigated for manufacturing and product designs. Manufacturing variability is characterized at different levels including lots, wafers, and chips. Bit-error-rate (BER) is proposed as a holistic parameter for...
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Veröffentlicht in: | arXiv.org 2015-08 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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