Origin of Instability of Titanicone Grown by Molecular Layer Deposition Using TiCl4 and Ethylene Glycol

Titanicone, obtained through molecular layer deposition (MLD) using TiCl4 and ethylene glycol (EG), is often regarded as a thin film of titanium ethylene glycolate [Ti­(OCH2CH2O)2]. Nevertheless, titanicone exhibits a distinct vulnerability to moisture, while single crystals of Ti­(OCH2CH2O)2 remain...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Chemistry of materials 2024-01, Vol.36 (1), p.247-255
Hauptverfasser: Kim, Hyeongjin, Hyun, Jieun, Kim, Gaeun, Lee, Eunsang, Min, Yo-Sep
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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