Development of the x-ray standing waves methodology to probe the interfaces of periodic multilayers

La qualité des interfaces dans les multicouches périodiques est essentielle au développement de miroirs réfléchissant efficacement dans les domaines des rayons X et extrême ultraviolet (X-EUV). De manière générale, la structure des interfaces dépend des possibles interdiffusion et processus chimique...

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1. Verfasser: Wu, Meiyi
Format: Dissertation
Sprache:eng
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