Caractérisation de microtextures par la technique ACOM-TEM dans le cadre du développement des technologies avancées en microélectronique

Afin d’optimiser les composants de l’industrie de la microélectronique, il est essentiel d’établir le lien entre la texture cristallographique des matériaux constitutifs et leurs propriétés électriques, thermiques et mécaniques. Ainsi, il est nécessaire de disposer d’outils capables de cartographier...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Valery, Alexia
Format:	Dissertation
Sprache:	eng
Schlagworte:	Acom-Tem Cartographies d’orientation Met Microelectronics Microélectronique Orientation Mapping Ped Tem
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