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1
Gas ion source for focused beams
von
Barth, J.E.
,
de Gruyter, C.B.
,
Koets, E.
,
Kruit, P.
,
van der Leeden, P.E.
,
Le Poole, J.B.
,
van der Mast, K.D.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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