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One nanometer structure fabrication using electron beam induced deposition
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Multibeam Electron Source using MEMS Electron Optical Components
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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Approaching the Resolution Limit of Nanometer-Scale Electron Beam-Induced Deposition
Veröffentlicht in Nano letters
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Sputtering of high-energy metal ions in keV heavy-ion surface collisions
Veröffentlicht in Surface science
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Aberration model of a multibeam scanning microscope for electron beam-induced deposition
Veröffentlicht in Scanning
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Design approach for a multi-beam electron beam-induced deposition system
Veröffentlicht in Scanning
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