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Role of Surface Termination in Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride
von
Ande, Chaitanya Krishna
,
Knoops, Harm C. M
,
de Peuter, Koen
,
van Drunen, Maarten
,
Elliott, Simon D
,
Kessels, Wilhelmus M. M
Veröffentlicht in
The journal of physical chemistry letters
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Atomic Layer Deposition of Wet-Etch Resistant Silicon Nitride Using Di(sec-butylamino)silane and N 2 Plasma on Planar and 3D Substrate Topographies
von
Faraz, Tahsin
,
van Drunen, Maarten
,
Knoops, Harm C M
,
Mallikarjunan, Anupama
,
Buchanan, Iain
,
Hausmann, Dennis M
,
Henri, Jon
,
Kessels, Wilhelmus M M
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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Atomic Layer Deposition of Wet-Etch Resistant Silicon Nitride Using Di(sec-butylamino)silane and N2 Plasma on Planar and 3D Substrate Topographies
von
Faraz, Tahsin
,
van Drunen, Maarten
,
Knoops, Harm C. M
,
Mallikarjunan, Anupama
,
Buchanan, Iain
,
Hausmann, Dennis M
,
Henri, Jon
,
Kessels, Wilhelmus M. M
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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Positional mapping of loci in the DiGeorge critical region at chromosome 22q11 using a new marker (D22S183)
von
MULDER, M. P
,
WILKE, M
,
HALLEY, D. J. J
,
MEIJERS, C
,
LANGEVELD, A
,
WILMING, L. G
,
HAGEMEIJER, A
,
VAN DRUNEN, E
,
ZWARTHOFF, E. C
,
RIEGMAN, P. H. J
,
DEELEN, W. H
,
VAN DEN OUWELAND, A. M. W
Veröffentlicht in
Human genetics
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Chromosomes, Human, Pair 22 - Genetics
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Dft
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Digeorge Syndrome - Genetics
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Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
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Proquest Central
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Proquest One Community College
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