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A physical model to predict stiction in MEMS
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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The investigation of microsystems using Raman spectroscopy
Veröffentlicht in Optics and lasers in engineering
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A physical model to predict stiction ir MEMS
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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The prediction of stiction failures in MEMS: Interface reliability
Veröffentlicht in IEEE transactions on device and materials reliability
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