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    Analysis of water adsorption in plasma-damaged porous low-k dielectric by controlled-atmosphere infrared spectroscopy

    Analysis of water adsorption in plasma-damaged porous low-k dielectric by controlled-atmosphere infrared spectroscopy von Darnon, Maxime, Chevolleau, Thierry, Licitra, Christophe, Rochat, Névine, Zocco, Julien


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