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Defektanalyse von a-C- und CNx-Schichten mittels Röntgen-Photoemissions-Elektronenmikroskopie (X-PEEM)Characterization of stoichiometric defects in diamond, a-C and CNx thin films...
Veröffentlicht in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten
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