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Suchergebnisse - Zhuo, Zeteng
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Interface properties of SiOxNy layer on Si prepared by atmospheric-pressure plasma oxidation-nitridation
von
Zhuo, Zeteng
,
Sannomiya, Yuta
,
Kanetani, Yuki
,
Yamada, Takahiro
,
Ohmi, Hiromasa
,
Kakiuchi, Hiroaki
,
Yasutake, Kiyoshi
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Nanoscale research letters
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Formation of SiO2/Si structure with low interface state density by atmospheric-pressure VHF plasma oxidation
von
Zhuo, Zeteng
,
Sannomiya, Yuta
,
Goto, Kazuma
,
Yamada, Takahiro
,
Ohmi, Hiromasa
,
Kakiuchi, Hiroaki
,
Yasutake, Kiyoshi
Veröffentlicht in
Current applied physics
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Interface properties of SiO^sub x^N^sub y^ layer on Si prepared by atmospheric-pressure plasma oxidation-nitridation
von
Zhuo, Zeteng
,
Sannomiya, Yuta
,
Kanetani, Yuki
,
Yamada, Takahiro
,
Ohmi, Hiromasa
,
Kakiuchi, Hiroaki
,
Yasutake, Kiyoshi
Veröffentlicht in
Nanoscale research letters
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Real-time monitoring and alarming system of PLC (Programmable Logic Controller) control system for combustible toxic gas in chemical industry
von
ZHUO ZETENG
,
ZHANG JINGQIANG
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