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Broad beam high average current metal ion source
Veröffentlicht in Review of Scientific Instruments
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High‐current metal‐ion source for ion implantation
Veröffentlicht in Review of Scientific Instruments
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Ranges, straggling and carrier concentration profiles of 0.5–6.0 MeV phosphorus in silicon
Veröffentlicht in Vacuum
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The Beijing metal vapor vacuum arc ion source program
Veröffentlicht in Review of scientific instruments
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