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1
Chemical mechanical planarization for microelectronics applications
von
Zantye, Parshuram B.
,
Kumar, Ashok
,
Sikder, A.K.
Veröffentlicht in
Materials science & engineering. R, Reports : a review journal
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2
Effect of Temperature on Tribological, Electrochemical, and Surface Properties during Copper CMP
von
Mudhivarthi, Subrahmanya
,
Zantye, Parshuram B
,
Kumar, Arun
,
Kumar, Ashok
,
Beerbom, Martin
,
Schlaf, Rudy
Veröffentlicht in
Electrochemical and solid-state letters
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3
Investigation of the nonuniformities in polyurethane chemical mechanical planarization pads
von
Zantye, Parshuram B.
,
Kumar, Ashok
,
Dallas, William
,
Ostapenko, Sergei
,
Sikder, Arun K.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
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4
Metrology and characterization of application specific chemical mechanical polishing pads
von
Zantye, Parshuram B.
,
Mudhivarthi, S.
,
Kumar, Ashok
,
Obeng, Yaw
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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5
CMP slurry for polymeric interlayer dielectric planarization
von
Zantye, Parshuram B
,
Kumar, Arun
,
Kumar, Ashok
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6
CMP slurry for polymeric interlayer dielectric planarization
von
KUMAR ARUN
,
ZANTYE PARSHURAM B
,
KUMAR ASHOK
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7
Device, system and method for providing MEMS structures of a semiconductor package
von
Kamgaing Telesphor
,
Sobieski Daniel N
,
Zantye Parshuram B
,
Ibrahim Tarek A
,
Haney Sarah K
,
Teh Weng Hong
,
Mair Chad E
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8
DEVICE, SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING MEMS STRUCTURES OF A SEMICONDUCTOR PACKAGE
von
TEH, WENG HONG
,
SOBIESKI, DANIEL N
,
MAIR, CHAD E
,
KAMGAING, TELESPHOR
,
IBRAHIM, TAREK A
,
ZANTYE, PARSHURAM B
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9
DEVICE, SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING MEMS STRUCTURES OF A SEMICONDUCTOR PACKAGE
von
IBRAHIM TAREK A
,
ZANTYE PARSHURAM B
,
HANEY SARAH K
,
TEH WENG HONG
,
MAIR CHAD E
,
KAMGAING TELESPHOR
,
SOBIESKI DANIEL N
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10
Device, system and method for providing mems structures of a semiconductor package
von
TEH, WENG HONG
,
SOBIESKI, DANIEL N
,
MAIR, CHAD E
,
KAMGAING, TELESPHOR
,
HANEY, SARAH K
,
IBRAHIM, TAREK A
,
ZANTYE, PARSHURAM B
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11
DEVICE, SYSTEM AND METHOD FOR PROVIDING MEMS STRUCTURES OF A SEMICONDUCTOR PACKAGE
von
IBRAHIM TAREK A
,
ZANTYE PARSHURAM B
,
HANEY SARAH K
,
TEH WENG HONG
,
MAIR CHAD E
,
KAMGAING TELESPHOR
,
SOBIESKI DANIEL N
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12
Device, system and method for providing MEMS structures of a semiconductor package
von
TEH, WENG HONG
,
SOBIESKI, DANIEL N
,
MAIR, CHAD E
,
KAMGAING, TELESPHOR
,
HANEY, SARAH K
,
IBRAHIM, TAREK A
,
ZANTYE, PARSHURAM B
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Electrochemical And Solid-State Letters
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Journal Of Vacuum Science & Technology. A, Vacuum, Surfaces, And Films
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Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Materials Science & Engineering. R, Reports : A Review Journal
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Materials Science, Multidisciplinary
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Adhesives
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Chemical Mechanical Planarization
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Chemistry
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Cmp Defects
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1
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Von:
Bis:
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7
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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