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Optical actuation of micromirrors fabricated by the micro-origami technique
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Characterization of GaAs-based micro-origami mirrors by optical actuation
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Characterization of GaAs-based micro-origami mirrors by optical actuation
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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