-
1
-
2
-
3
Study of the electron lithography parameters by AFM
Veröffentlicht in Vestnik. Seriâ fizičeskaâ
VolltextArtikel -
4
Influence of the dose distribution on resist development properties
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
5
A proposed laser source of ions for nanotechnology
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
6
-
7
-
8
The first synthetic X-ray hologram: results
Veröffentlicht in Optics communications
VolltextArtikel -
9
-
10
Simulation of heating in powerful electron lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
Proximity correction for 3D structures
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
17
Proxy — A new approach for proximity correction in electron beam lithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
VolltextArtikel -
18
-
19
-
20