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Low Voltage Nanoelectromechanical Switches Based on Silicon Carbide Nanowires
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Electrothermal tuning of Al–SiC nanomechanical resonators
Veröffentlicht in Nanotechnology
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High-temperature single-crystal 3C-SiC capacitive pressure sensor
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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VHF, UHF and microwave frequency nanomechanical resonators
Veröffentlicht in New journal of physics
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SiC cantilever resonators with electrothermal actuation
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Silicon carbide for microelectromechanical systems
Veröffentlicht in International materials reviews
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Monocrystalline silicon carbide nanoelectromechanical systems
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Fabrication and characterization of polycrystalline SiC resonators
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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