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Preparation and Formation Mechanism of β‑SiC Coatings Using a SiCl4–CH4–H2–N2 System
Veröffentlicht in Langmuir
VolltextArtikel -
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Preparation and Formation Mechanism of β-SiC Coatings Using a SiCl 4 -CH 4 -H 2 -N 2 System
Veröffentlicht in Langmuir
VolltextArtikel -
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