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Design of planar comb-driven MEMS torsional mirror
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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Design and fabrication of independent-cavity FP tunable filter
Veröffentlicht in Optics communications
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Variable optical attenuator based on a vertical comb drive actuated MEMS micromirror
Veröffentlicht in Optik (Stuttgart)
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A novel offset vertical comb-driven micromirror as an optical phase modulator
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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