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Nanodrilling of fused silica using nanosecond laser radiation
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172 nm pre-treatment for PDMS/PDMS replication
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3D-Hot embossing of undercut structures – an approach to micro-zippers
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Investigation of the separation of 3D-structures with undercuts
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Analysis of the filling behaviour of trenches via air bubble tracking
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Properties of InGaAs/GaAs QW coupled edge and surface emitting tilted cavity lasers
Veröffentlicht in Laser physics letters
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172 nm excimer VUV-triggered photodegradation and micropatterning of aminosilane films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Patterning concept for sculptured nanostructures with arbitrary periods
Veröffentlicht in Applied physics letters
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172nm pre-treatment for PDMS/PDMS replication
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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