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    Modified imprinting process using hollow microneedle array for forming through holes in polymers

    Modified imprinting process using hollow microneedle array for forming through holes in polymers von Shibata, Takayuki, Yukizono, Satoshi, Kawashima, Takahiro, Nagai, Moeto, Kubota, Toshio, Mita, Mamoru

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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