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Selective etching of silicon nitride over silicon oxide using ClF3/H2 remote plasma
Veröffentlicht in Scientific reports
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Ultrasensitive MoS2 photodetector by serial nano-bridge multi-heterojunction
Veröffentlicht in Nature communications
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Cyclic Atomic Layer Etching of PdSe2
Veröffentlicht in Advanced functional materials
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Atomic Layer Etching Mechanism of MoS2 for Nanodevices
Veröffentlicht in ACS applied materials & interfaces
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Hierarchical nanostructures of nitrogen-doped molybdenum sulphide for supercapacitors
Veröffentlicht in RSC advances
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