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Outgassing performance of an ionic liquid-based magnetic fluid
Veröffentlicht in Vacuum
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Electron beam mastering system using a vacuum-compatible hydrodynamic spindle
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Holding Characteristics in the Vertical Direction of Porous Vacuum Chucks
Veröffentlicht in Nihon Kikai Gakkai ronbunshū. C
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