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Electrical Admittance Spectroscopy for Piezoelectric MEMS
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Dual-cathode method for sputtering magnetoelastic iron-boron films
Veröffentlicht in Vacuum
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Piezoelectric micromachined microphones with out-of-plane directivity
Veröffentlicht in Applied physics letters
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