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Simple and robust feedforward compensation of quadrant glitches using a compliant joint
Veröffentlicht in CIRP annals
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Magnet assisted stage for vibration and heat reduction in wafer scanning
Veröffentlicht in CIRP annals
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Boosting Speed and Accuracy in Precision Motion Control
Veröffentlicht in Mechanical engineering (New York, N.Y. 1919)
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