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Organoiodine Functionality Bearing Resists for Electron-Beam and Helium Ion Beam Lithography: Complex and Sub-16 nm Patterning
von
Yogesh, Midathala
,
Moinuddin, Mohamad. G
,
Chauhan, Manvendra
,
Sharma, Satinder K
,
Ghosh, Subrata
,
Gonsalves, Kenneth E
Veröffentlicht in
ACS applied electronic materials
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2
Novel process integration flow of germanium-on-silicon FinFETs for low-power technologies
von
Choudhary, Sumit
,
Yogesh, Midathala
,
Schwarz, Daniel
,
Funk, Hannes S.
,
Ghosh, Subrata
,
Sharma, Satinder K.
,
Schulze, Jörg
,
Gonsalves, Kenneth E.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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3
Organotin bearing polymeric resists for electron beam lithography
von
Yogesh, Midathala
,
Moinuddin, Mohamad G.
,
Khillare, Lalit D.
,
Chinthalapalli, Srinivas
,
Sharma, Satinder K.
,
Ghosh, Subrata
,
Gonsalves, Kenneth E.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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4
Functionalized Ag Nanoparticles Embedded in Polymer Resists for High-Resolution Lithography
von
Moinuddin, Mohamad G
,
Kumar, Rudra
,
Yogesh, Midathala
,
Sharma, Shivani
,
Sahani, Manoj
,
Sharma, Satinder K
,
Gonsalves, Kenneth E
Veröffentlicht in
ACS applied nano materials
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5
New non-chemically amplified molecular resist design with switchable sensitivity for multi-lithography applications and nanopatterning
von
Thakur, Neha
,
Reddy, Pulikanti Guruprasad
,
Nandi, Santu
,
Yogesh, Midathala
,
Sharma, Satinder K
,
Pradeep, Chullikkattil P
,
Ghosh, Subrata
,
Gonsalves, Kenneth E
Veröffentlicht in
Journal of micromechanics and microengineering
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6
A photoacid generator integrated terpolymer for electron beam lithography applications: sensitive resist with pattern transfer potential
von
Nandi, Santu
,
Yogesh, Midathala
,
Reddy, Pulikanti Guruprasad
,
Sharma, Satinder K.
,
Pradeep, Chullikkattil P.
,
Ghosh, Subrata
,
Gonsalves, Kenneth E.
Veröffentlicht in
Materials chemistry frontiers
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7
A photoacid generator integrated terpolymer for electron beam lithography applications: sensitive resist with pattern transfer potentialElectronic supplementary information (ESI) a...
von
Nandi, Santu
,
Yogesh, Midathala
,
Reddy, Pulikanti Guruprasad
,
Sharma, Satinder K
,
Pradeep, Chullikkattil P
,
Ghosh, Subrata
,
Gonsalves, Kenneth E
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Electron Beam Lithography
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Electron-Beam Lithography
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Bis:
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American Chemical Society (Acs) Journals
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Institute Of Physics Journals
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Royal Society Of Chemistry Journals
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Institute Of Physics
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Ingenta Connect
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Aip Journals Complete
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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