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A Wafer-Level Packaged CMOS MEMS Pirani Vacuum Gauge
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Phage-based Electrochemical Sensors: A Review
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Fully Integrated Bidirectional CMOS-MEMS Flow Sensor With Low Power Pulse Operation
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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