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Suchergebnisse - Yeonhong Jee
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Comparative study on the properties of amorphous carbon layers deposited from 1-hexene and propylene for dry etch hard mask application in semiconductor device manufacturing
von
Lee, Seungmoo
,
Won, Jaihyung
,
Choi, Jongsik
,
Park, Jihun
,
Jee, Yeonhong
,
Lee, Hyeondeok
,
Byun, Dongjin
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Preparation and analysis of amorphous carbon films deposited from (C 6H 12)/Ar/He chemistry for application as the dry etch hard mask in the semiconductor manufacturing process
von
Lee, Seungmoo
,
Won, Jaihyung
,
Choi, Jongsik
,
Jang, Samseok
,
Jee, Yeonhong
,
Lee, Hyeondeok
,
Byun, Dongjin
Veröffentlicht in
Thin solid films
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Real-time monitoring of plasma flickering in high pressure electronegative discharge
von
Yongjin Kim
,
Kyehyun Baek
,
Samhae Lee
,
Sungno Lee
,
Jaewook Lee
,
Yeonhong Jee
,
Changjin Kang
,
Hanku Cho
,
Jootae Moon
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Plasma chemical vapor deposition methods
von
LEE HAEMOON
,
JEE YEONHONG
,
LEE SUNSOO
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Ieee Power & Energy Library
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Esp@Cenet
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Ieee Electronic Library (Iel)
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