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    Study on Fluorine-Doped Indium Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

    Study on Fluorine-Doped Indium Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering von Shigesato, Yuzo, Shin, Naoko, Kamei, Masayuki, Song, P. K., Yasui, Itatu


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