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    The Effect of Plasma Activation of Reactive Gas in Reactive Magnetron Sputtering

    The Effect of Plasma Activation of Reactive Gas in Reactive Magnetron Sputtering von Dudin, Stanislav V., Yakovin, Stanislav D., Zykov, Aleksandr V.


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    Combined Magnetron-Ion-Source System for Reactive Synthesis of Complex Nanostructured Coatings

    Combined Magnetron-Ion-Source System for Reactive Synthesis of Complex Nanostructured Coatings von Zykov, Alexander, Dudin, Stanislav, Yakovin, Stanislav, Yefymenko, Nina, Shchibrya, Artem, Dahov, Alexander


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