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APPLICATION OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA BY GAS MICROSYSTEM DESIGN
von
Ya. A. Belahurau
,
Ya. I. Shukevich
,
V. V. Barkalin
,
V. V. Khatko
,
I. A. Taratyn
Veröffentlicht in
Pribory i metody izmererij
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FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION
von
O. G. Reutskaya
,
Ya. A. Belahurau
,
I. A. Taratyn
,
V. V. Khatko
Veröffentlicht in
Pribory i metody izmererij
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Gas Sensor Microsystem
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