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Large tilt angle electrostatic force actuated micro-mirror
Veröffentlicht in IEEE photonics technology letters
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Electromagnetic 2×2 MEMS optical switch
Veröffentlicht in IEEE journal of selected topics in quantum electronics
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Electromagnetic 2/spl times/2 MEMS optical switch
Veröffentlicht in IEEE journal of selected topics in quantum electronics
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Electromagnetic 2x2 MEMS optical switch
Veröffentlicht in IEEE journal of selected topics in quantum electronics
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