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Anisotropic Etching Using Reactive Cluster Beams
Veröffentlicht in Applied physics express
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Reactive etching by ClF3-Ar neutral cluster beam with scanning
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Reactive etching by ClF 3 –Ar neutral cluster beam with scanning
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Reactive etching by ClF sub(3)-Ar neutral cluster beam with scanning
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Reactive etching by ClF3-Ar neutral cluster beam with scanning
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Velocity control of ClF3 neutral cluster with He carrier gas
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Technique of Wide Area Si Etching with ClF3 Cluster Beam (2)
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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Fine patterns etching with ClF3 neutral cluster beam
Veröffentlicht in JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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左結腸動脈の動静脈瘻による非壊死型虚血性大腸炎に対して経皮的動脈塞栓術が奏功した1例~症例報告と本邦報告例の文献的考察
Veröffentlicht in 日本大腸肛門病学会雑誌
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