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A Low-Power and Robust Micromachined Thermal Convective Accelerometer
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
VolltextArtikel -
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Effect of Wind-Induced Vibration on Measurement Range of Microcantilever Anemometer
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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Effect of Insulation Trenches on Micromachined Silicon Thermal Wind Sensors
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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