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Using refractory metal silicidation phase transition temperature points to control and/or calibrate RTP low temperature operation
von
ZHU ZHONG YUN
,
ZHANG BEI CHAO
,
KARIM HAZNITA ABD
,
LEONG CHEE KONG
,
CHAM JOHNNY
,
YELAMANCHI RAVI SANKAR
,
JAISWAL RAJNEESH
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Using refractory metal silicidation phase transition temperature points to control and/or calibrate RTP low temperature operation
von
Zhu, Zhong Yun
,
Jaiswal, Rajneesh
,
Karim, Haznita Abd
,
Zhang, Bei Chao
,
Cham, Johnny
,
Yelamanchi, Ravi Sankar
,
Leong, Chee Kong
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3
METHOD FOR CONTROLLING AND/OR CORRECTING RTP LOW TEMPERATURE OPERATION BY USING REFRACTORY METAL SILICIDATION PHASE TRANSITION TEMPERATURE POINT
von
ZHANG BEI CHAO
,
ABD KARIM HAZNITA
,
LEONG CHEE KONG
,
CHAM JOHNNY
,
YELAMANCHI RAVI SANKAR
,
ZHU ZHONG-YUN
,
JAISWAL RAJNEESH
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Patent
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4
USING REFRACTORY METAL SILICIDATION PHASE TRANSITION TEMPERATURE POINTS TO CONTROL AND/OR CALIBRATE RTP LOW TEMPERATURE OPERATION
von
ZHANG BEI CHAO
,
ABD KARIM HAZNITA
,
LEONG CHEE KONG
,
CHAM JOHNNY
,
YELAMANCHI RAVI SANKAR
,
ZHU ZHONG-YUN
,
JAISWAL RAJNEESH
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Esp@Cenet
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