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Investigation of a complete squeeze-film damping model for MEMS devices
Veröffentlicht in Microsystems & nanoengineering
VolltextArtikel -
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Bandwidth Optimization of MEMS Accelerometers in Fluid Medium Environment
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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Investigation of a complete squeeze-film damping model for MEMS devices
Veröffentlicht in MICROSYSTEMS & NANOENGINEERING
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