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    High-fidelity rapid prototyping of 300 mm fabs through discrete event system modeling

    High-fidelity rapid prototyping of 300 mm fabs through discrete event system modeling von Park, Jonghun, Reveliotis, Spyros A., Bodner, Douglas A., Zhou, Chen, Wu, Jennfong, McGinnis, Leon F.

    Veröffentlicht in Computers in industry

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